Nog een is die gas-fasemetode, chemiese dampneerlegging (CAV)-metode, ook bekend as pirolisemetode, droëmetode of verbrandingsmetode. Die grondstowwe daarvan is oor die algemeen silikontetrachloried, suurstof (of lug) en waterstof, wat by hoë temperature reageer.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO2+4HCl. Lug en waterstof word onderskeidelik aan druk, skeiding, verkoeling en dehidrasie, silikageldroging, stofverwydering en filtrasie onderwerp voordat dit na die sintetiese hidrolise-oond gestuur word. Nadat die rou materiaal van silikontetrachloried na die distillasiekolom gestuur is vir distillasie, word dit verhit en in die verdamper verdamp, en dan na die sintetiese hidrolise-oond gestuur met droë en gefiltreerde lug as die draer. Silikontetrachloried word verdamp by hoë temperature (vlamtemperatuur 1000-1800 grade) en ondergaan dan gas-fasehidrolise met 'n sekere hoeveelheid waterstof en suurstof (of lug) teen ongeveer 1800 grade. Op hierdie stadium is die gasfase silika-deeltjies wat gegenereer word uiters fyn en vorm aërosols met gasse, wat moeilik is om vas te vang.
Daarom word hulle eers in 'n aggregator tot groter deeltjies saamgevoeg, dan deur 'n sikloonskeier versamel en na 'n ontsuuroond gestuur. Die gas-fase silika word met stikstof-bevattende lug gewas totdat die PH-waarde 4 tot 6 is, wat die finale produk is